半導体用語集
走査型トンネル顕微鏡法 STM
英語表記：scanning tunneling microscopy
電界放射電流が探針と試料間の距離に依存することを利用して試料表面の原子レベルの凹凸をトンネル電流の変化で探知し、探針の動きを画像化する方法。
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