半導体用語集
非一方向流型クリーンルーム 乱粒型クリーンルーム
英語表記：non-unidirectional flow clean room turbulent flow clean room
気流パターンと流速が一様でないクリーンルーム。室内空気中浮遊粒子は、天井または壁の一部に設けられた吸出口より給気される清浄空気で希釈され、吸込口より室外に排出される。清浄度クラス6以下の場合に用いられる。
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