半導体用語集
高圧電子顕微鏡法 HVEM
英語表記：high voltage electron microscopy
加速電圧が普通の電子顕微鏡の40～100kvに対し、106V以上の電子顕微鏡。利点は試料透過率の向上、試料損傷の軽減、理論的解像度の向上、およびより効果的に暗視野操作などができる。
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