半導体用語集
電気炉アニール装置
英語表記：furnace annealer
白熱線等のヒータを用いて所望の温度雰囲気を作り、ここからの熱伝達により対象物を加熱し、アニールを行う装置。電気炉の構造により横型電気炉アニール装置、縦型電気炉アニール装置に分けられる。
関連製品
「電気炉アニール装置」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「電気炉アニール装置」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
