半導体用語集
水素ターミネーション 水素終端化
英語表記：hydrogen termination
ウェーハ最表面のSi原子が水素と結合して、安定化し、疎水性表面になっている状態。酸化膜をふっ酸水溶液で処理した後に生ずるが、完全でないことがあり、その場合には時間経過によって自然酸化膜が形成される。
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