半導体用語集
多極石英管型 プラズマCVD装置
英語表記：multi parallel plate electrode plasma enhanced CVD system
石英反応管内に複数電極板を挿入し、この電極上に複数のウェーハを縦に設置した構造の容量結合型プラズマCVD設置。対抗した電極板間に高周波電力を印加し、低圧反応ガスのプラズマを発生させ薄膜を形成する。
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