半導体用語集
吸着材式排ガス処理装置
英語表記：exhaust gas abatement equipment by absorption process
吸着剤で排ガス中の有害ガスを除去する装置。吸着剤の種類には活性炭、モレキュラシープ、活性アルミナ、特殊薬剤、添加吸着剤などがある。
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