半導体用語集
高圧熱酸化装置
英語表記：high pressure hermal oxidation furnace
高圧雰囲気中で酸化を行う装置。通常の熱酸化に比べ酸化温度の低温化、酸化時間の短縮化が図れる。
関連製品
「高圧熱酸化装置」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「高圧熱酸化装置」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
