半導体用語集
温超純水供給装置 超純水加熱装置
英語表記：deionized water heating equipment
超純水の純度を低下させることなく温純水（40～90℃）をユースポイントへ供給する装置。加熱方法としては、熱交換器や直接ヒータによるものがある。接液部の材質としては、ステンレス、チタン、ふっ素樹脂などがある。
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