半導体用語集
ボートローダ
英語表記：boat loader
反応管にボートを出し入れするための自動機。スピードと停止位置の再現性について高精度のコントロールを行う。プッシャ棒（押し棒）を反応管内に出し入れすることによりボートの挿入及び引き出しを行う。
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