半導体用語集
ミラーウェーハ 鏡面ウエーハ ポリッシュドウエーハ
英語表記：mirror wafer polished wafer
ポリッシング工程により鏡面仕上げを施したウエーハ。一方の表面のみを鏡面仕上げした片面ミラーウェーハと両方の表面を鏡面仕上げした両面ミラーウェーハがある。
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