半導体用語集
緊急用排ガス処理装置
英語表記：exhaust gas abatement equipment for emergency
シリンダキャビネットや特殊材料ガス取扱い場所での非常時の多量のガスを安全に処理する装置。定常時はバイパス排気し、非常時は緊急ダンパなどを作動させて除害装置で処理後排気する。
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