半導体用語集
緊急排気設備
英語表記：emergency exhaust system
クリーンルーム内にH2、SiH4、AsH3などの危険性・有害性ガスが漏出した時、安全確保のため緊急に作動する排気設備。特に、シリンダキャビネットや特殊材料ガスの取扱い場所用として、除害装置を持つ緊急用排ガス処理装置がある。
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