半導体用語集
パルセーションダンパアキュームレータエアチャンバ
英語表記：pulsation damper accumulator air chamber
配管内の液体の脈動を減少させる配管部品で、本体内部の空気室又はダイヤフラムで隔離された空気室がエアクッションとして働くことにより圧力変動を吸収する薬品。通常は、ポンプの吐出側配管に取付け、フィルタの保護、ユースポイントにおける薬品の一定圧力供給を行う。
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