半導体用語集
走査ステップ式投影露光装置
英語表記：step-and-scan projection aligner
捜査式投影露光装置と同様の同期走査方式で各ショットの露光を行い、且つ基板を繰り返しステップして同一基板上に複数ショットの露光を行う投影露光装置。
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