半導体用語集
スキャナ
英語表記：scanner
走査ステップ式投影露光装置の通称。光源は、主にi線、KrFエキシマレーザを使用し、レチクルパターンの露光部をスリット状に制限し、投影レンズを介してウェーハ上に投影させ、レチクルとウェーハを縮小倍率の比で同期走査させる露光装置。一般にステッパ用レンズより画角が小さくなり、ディストーション等が軽減でき、ウェーハの平坦度による影響を補正できる等の利点がある。
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半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › リソグラフィ装置 › ArF装置（ドライ）
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