半導体用語集
自動焦点合わせ
英語表記： auto focusmg
ウェハ上の数点でウェハの高さを計測し、焦点(フォーカス)を自動的に合わせることをいう。ウェハの斜め上方からハロゲンランプの光を入射してウェハ上に集光し、その反射光の強度をセンサで感知することによりウェハの高さを測定する。実際のウェハには凹凸があるため計測位置によってウェハの高さが異なる。そこからベストフォーカスを算出するにはいくつかの方法があり、単純に平均を取る方法や重みをつけて平均化する方法がある。ステッパの場合にはウェハは静止しているので、露光部近傍のセンサを用いればよい。スキャナでスキャン露光する場合にはウェハを走査する関係上、露光前にも走査をしながら傾斜と焦点を調べてウェハの形状を予測しておく (このセンサを先読みセンサという場合もある)。ウェハが露光されだしたら露光領域のセンサ(このセンサを追従センサという場合もある) でウェハ形状を再度正確に調べて補正を行いながらスキャン露光する。
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