半導体用語集
リソグラフィ
英語表記：lithography
平板印刷における石版術を語源とするが、半導体分野では基板上にレジストパターンを形成する技術。
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半導体／電子部品／MEMS › 半導体 › センサ
FPA-1200NZ2C
キヤノン株式会社
ナノインプリントリソグラフィのパイオニア 2022年「第49回 環境賞」を受賞。次世代のNILリソグラフィ装置
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VeritySEM 10
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