半導体用語集
SPIE(光技術国際協会)
英語表記:The International Society for Optical Engineering
光技術に関する多くの学術的な会合を開催している。たとえば、毎年3月に米国で開催されるSPIE Meetingは半導体リソグラフィ技術に関する最新成果の発表の場となっている。
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