存在感増す韓国・中国の半導体製造装置企業(2022年8月5日)

世界の半導体製造装置市場のうち、中国、韓国、台湾市場の成長が顕著である。これらの地域では、洗浄/ウェット処理装置、CVD装置、熱処理装置など技術的に成熟した装置においては、自国の半導体製造装置企業の採用が続いている。
 どちらの国も国策として自国の半導体製造装置の導入を支援している。最先端分野で使用する装置の採用はできないが、前述のような成熟装置であれば導入に際してのリスクは小さいためである。今後は先端分野への対応が鍵となってくる。
 しかし、支援の構造は異なっている。韓国では国の支援はあるものの、Samsung Electronicsが製造装置企業育成の牽引車となっている。自社開発技術のスピンアウト、地場装置との共同開発などを通じて、自社技術を自国の装置メーカに積極的に提供している。
 中国は国家プロジェクトとして製造装置の育成を進めており、資金面でも政府系ファンドが支援している。例えば露光装置技術では、ArF液浸スキャナも開発、製品化している。技術面では7nmレベルのパターンニングに成功している。量産レベルで安定してい使用できるレベルにはないようだが、今後、中国の大手半導体メーカへの導入が期待されている。

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