半導体用語集
ストッカ
英語表記：stocker
ハンドラで測定の終了したデバイスを分類先のビン、又はマガジンに送り込むまで一時的に待機させる機構部。
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ジェイテクトサーモシステム株式会社
シリコンウェーハ、IGBT、ポリイミド、薄ウェーハの酸化・拡散・CVD熱処理装置。 大容量ストッカーを備え、短タクトタイムを実現したフラッグシップモデル。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 成膜装置 › 酸化拡散装置
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