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TS-3000

村田機械株式会社
最終更新日: 2023年08月25日

製品前ストッカ

製造装置のロードポートにかぶせる形で設置するバッファ装置。
Tool Station はSEMI規格E15.1に準拠した装置に対してであれば、新ライン既存ライン問わず設置が可能。

基本情報

製造装置に最も近い位置でキャリア(FOUP)がバッファされ、また装置各々に独立した移載装置を設置する事により、処理完了FOUP取り去りから次処理FOUP供給まで、「FOUP入替時間」の短縮を実現し、検査時間の短い検査装置の稼働率向上などを志向する。

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取扱企業

村田機械株式会社

業種:産業用機械  所在地:京都府 京都市伏見区竹田向代町 136

保管・自動搬送システムの技術力により、製造プロセスの効率化に寄与する半導体工場のウェーハ搬送ソリューションをトータルで提供

半導体工場の搬送システムはクリーンFA事業部門が担当。半導体製造工程における、保管・搬送システムのハードウエア・ソフトウエアの開発・設計から、製造・据付・アフターサービスまで、一貫して提供し、お客様をトータルにサポートする。OHT、OHS、AGV、ストッカ、装置前ストッカなどを提供している。

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