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ゲート電極の製品一覧

多結晶Siなどのゲート電極材料、各種の導体膜をエッチングする装置

Primo HD-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

NANDおよびDRAMチップ製造のための革新的なエッチングソリューションを提供する。

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