ゲート電極の製品一覧

多結晶Siなどのゲート電極材料、各種の導体膜をエッチングする装置

SENSE.I

Lam Research

高感度の新素材と複雑なアーキテクチャーの課題に対応する新装置

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Kiyoシリーズ

Lam Research

ラムリサーチのKiyoシリーズは、導電体を精密かつ高い再現性で形成できる高機能でかつ高生産性を発揮します。用途によっては当社のReliantRシリ…

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Primo HD-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

NANDおよびDRAMチップ製造のための革新的なエッチングソリューションを提供する。

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