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半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

㈱KMC 金型IoTソリューション
ユアサプロマテック株式会社

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金型情報の一元管理

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生産設備管理ツール「キノシステム」
芝浦メカトロニクス株式会社

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リアルタイムでデータを収集、装置の状態を見える化して生産性UP。 機器1台から始められる予知保全のための生産設備管理ツール「キノシステム」…

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8インチ対応洗浄装置
芝浦メカトロニクス株式会社

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様々な要求に対応可能な装置

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ケミカルドライエッチング装置「CDE-80R」
芝浦メカトロニクス株式会社

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プラズマダメージの無いエッチングが可能な、等方性のエッチング装置です。SiコーナーラウンディングやSiスムージングを得意とし、3インチから8…

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高信頼性、高速300mmウェーハ対応コータ・デベロッパ

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多様な基板へフレキシブルに対応するコータ・デベロッパ

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凹凸のある立体構造に対して最適かつフレキシブルに塗布するコータ・デベロッパ

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ライン構成がフレキシブルな高スループットバッチ式洗浄システム

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最適な洗浄プロセスに応える進化形

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ハーフピッチとワンバスを採用した省スペースバッチ式洗浄装置

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