半導体製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

半導体の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

4、6インチウエハ向け洗浄装置
グローバルネット株式会社

注目

両面の水洗浄が可能な4、6インチウエハ向け洗浄装置

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8インチウエハ向け試作評価向けCMP装置
グローバルネット株式会社

注目

高剛性 幅広いCMP開発に対応可能。

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Solid Source Delivery System(固体供給システム)AcroStarⓇ

株式会社高純度化学研究所

有機金属化合物(消防法危険物 第三類該当)のように発火の危険性がなく、膜中にカーボンが残留しない固体塩化物を安定的に連続気化可能な供給装…

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3軸円筒座標型クリーンロボット

PHT株式会社

ガラス基板対応

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3軸クリーンロボット

PHT株式会社

3軸 伸縮・旋回・上下 3軸クリーンロボット

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キャリア基板受入れ洗浄装置 PWG-2501

PHT株式会社

次世代半導体向けの最先端チップレットパッケージ技術が開発されており、ガラス基板はパッケージ用キャリア基板としての適用が想定されています…

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SiCウェーハ向け枚葉式自動洗浄装置

PHT株式会社

本装置は、φ150mm(6") ・φ200mm(8")対応の SiCウェーハ枚葉式洗浄装置です。 ウェーハは、25枚入カセットでLD側に作業者がセットします。…

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半導体、FPD装置向けFFU (Fan filter Unit)

株式会社世奉

創造的な考えと情熱、革新と挑戦でより良い未来を開きます。

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石英向けフッ素樹脂コーティング・ライニング

日本フッソ工業株式会社

「石英基材のパーティクルや腐食の問題、解決いたします!」

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CanTops_Smart Factory 要素部品

株式会社世奉

”世界最高の技術力と製品でお客様にいつも最高で認められる企業に発展しよう。” Can(出来る)+Tops(第一人者、最高人)の合成語

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