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8インチウエハ向け試作評価向けCMP装置

高剛性
幅広いCMP開発に対応可能。

韓国 G&P Technology社製
自動シーケンス、ドライイン・ウェットアウト方式
コンディショニングヘッド選択可(振動タイプorスイングアーム)
パッドプロファイル計測
摩擦力、温度管理システム

基本情報

寸法 W: 1,200mm✕D: 1,160mm✕H: 1,960mm
プラテン φ508mm(20inch), 30-200rpm
ヘッド径 φ930mm
ヘッド材質 ステンレス
ワークサイズ φ8インチまで対応可能
ヘッド回転数 30-200rpm
プレス方法 可変空気圧コントローラー
メンブレンタイプ 70-500g/cm3

価格帯 5000万円以上 1億円未満
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取扱企業

グローバルネット株式会社

業種:産業用電気機器  所在地:東京都 中央地区 1-2-10 堀川ビル6F

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グローバルネット株式会社(GNC)は出版やセミナーを通して、半導体やフラットパネルディスプレイの情報をタイムリーに提供することを目的に1990年に設立しました。そして2020年には創業30年を迎えます。
1994年にCMPプラナリゼーション委員会の事務局として活動する機会を経て、会員の皆様にCMP向け層間絶縁膜用テストウエハの提供を始めたことがきっかけとなり、テストウエハの試作・加工ファンドリビジネスに参入、事業化を致しました。

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