スパッタリング装置の製品一覧
ENTRON N300
株式会社アルバック
マルチチャンバ型スパッタリング装置
ENTRON-EX2 W300
マルチチャンバ型スパッタリング装置ENTRONTM-EX2 W300は、多様なプロセスを結び付ける最新のプラットフォームです。
Segul
GaNスパッタリングモジュール
枚葉式複合モジュール型成膜加工装置 uGmni-200, 300
スパッタリング、エッチングなど複数の異なるプロセスモジュールを同一搬送コアに搭載し、柔軟なプロセス対応が可能
CS-L
実験用小型スパッタリング装置CS-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み」、「大気搬送」、「真空搬送」、「スパッタ室」の各モジュールの自由な…
CS-200
ロードロック式スパッタリング装置CS-200は、研究開発から小規模生産まで対応のロードロック式スパッタリング装置です。
ACS-4000
コンパクトスパッタACS-4000は、多層膜や化合物薄膜の研究開発用途として、パソコンによるプロセス自動化と4インチ基板対応を可能にしました。
SXシリーズ
バッチ式スパッタリング装置SXシリーズは、各種電子部品等の多目的実験から小・中規模生産まで幅広いニーズに対応可能なスパッタリング装置で…
SVシリーズ
バッチ式スパッタリング装置
SRHシリーズ
裏面・実装用スパッタリング装置
関連用語
関連特集
「スパッタリング装置」の関連企業一覧
キヤノンアネルバ 株式会社
キヤノンアネルバは超高真空技術を用いた高付加価値製品を提供することで、社会の発展に貢献してまいります。
Applied Materials,Inc
成膜、エッチング、イオン注入装置、洗浄装置、各種検査装置まで幅広いラインナップを提供しています。保守、サポート体制も充実させています。
SPST Technology
エッチング装置ではシリコン深堀エッチングなどが高アスペクト形状のエッチング装置で、半導体,MEMS分野で実績を残している。スパッタリグ装置は…
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