スパッタリング装置の製品一覧

ターゲット材にArなどのイオンを高速で衝突させることにより、ターゲットからはじき出した原料分子を利用して成膜を行う装置

ENTRON N300

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置

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ENTRON-EX2 W300

株式会社アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置ENTRONTM-EX2 W300は、多様なプロセスを結び付ける最新のプラットフォームです。

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Segul

株式会社アルバック

GaNスパッタリングモジュール

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枚葉式複合モジュール型成膜加工装置 uGmni-200, 300

株式会社アルバック

スパッタリング、エッチングなど複数の異なるプロセスモジュールを同一搬送コアに搭載し、柔軟なプロセス対応が可能

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CS-L

株式会社アルバック

 実験用小型スパッタリング装置CS-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み」、「大気搬送」、「真空搬送」、「スパッタ室」の各モジュールの自由な…

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CS-200

株式会社アルバック

ロードロック式スパッタリング装置CS-200は、研究開発から小規模生産まで対応のロードロック式スパッタリング装置です。

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ACS-4000

株式会社アルバック

コンパクトスパッタACS-4000は、多層膜や化合物薄膜の研究開発用途として、パソコンによるプロセス自動化と4インチ基板対応を可能にしました。

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SXシリーズ

株式会社アルバック

 バッチ式スパッタリング装置SXシリーズは、各種電子部品等の多目的実験から小・中規模生産まで幅広いニーズに対応可能なスパッタリング装置で…

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SVシリーズ

株式会社アルバック

バッチ式スパッタリング装置

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SRHシリーズ

株式会社アルバック

裏面・実装用スパッタリング装置

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