スパッタリング装置の製品一覧
Segul
株式会社アルバック
GaNスパッタリングモジュール
EL3400
キヤノンアネルバ株式会社
高密度実装向けスパッタリング装置
Sigma fxp PVD
SPST Technology
パワーデバイス、TSV,MEMSなどの形成に最適なスパッタリング装置
枚葉式複合モジュール型成膜加工装置 uGmni-200, 300
スパッタリング、エッチングなど複数の異なるプロセスモジュールを同一搬送コアに搭載し、柔軟なプロセス対応が可能
ENTRON-EX2 W300
マルチチャンバ型スパッタリング装置ENTRONTM-EX2 W300は、多様なプロセスを結び付ける最新のプラットフォームです。
ENTRON N300
マルチチャンバ型スパッタリング装置
IC7500
主に半導体メモリで使用する金属配線材料の薄膜形成に対応した、クラスター式スパッタリング装置
FC7100
当社独自のスパッタリング技術によるダメージレス・メタルゲート量産用のφ300mm対応クラスター式スパッタリング装置
Endura Cirrus RT PVD Cobalt
Applied Materials,Inc
Co薄膜形成用PVDシステム
ENDURA AMBER PVD
Cuシード層形成用PVD装置
関連用語
関連特集
「スパッタリング装置」の関連企業一覧
キヤノンアネルバ 株式会社
キヤノンアネルバは超高真空技術を用いた高付加価値製品を提供することで、社会の発展に貢献してまいります。
成膜、エッチング、イオン注入装置、洗浄装置、各種検査装置まで幅広いラインナップを提供しています。保守、サポート体制も充実させています。
エッチング装置ではシリコン深堀エッチングなどが高アスペクト形状のエッチング装置で、半導体,MEMS分野で実績を残している。スパッタリグ装置は…
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