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枚葉式複合モジュール型成膜加工装置 uGmni-200, 300

株式会社アルバック
最終更新日: 2024年05月31日

スパッタリング、エッチングなど複数の異なるプロセスモジュールを同一搬送コアに搭載し、柔軟なプロセス対応が可能

スパッタリング、エッチングなど複数の異なるプロセスモジュールを同一搬送コアに搭載し、可能な限り構成部品の共通化を行い、スペア部品の低減や同一操作画面による使い勝手向上など、電子部品の製造工程において更なる効率化を実現にする。300mmウェーハ対応で、全プロセスチャンバがアルバック製となっている。

基本情報

用途例は以下のようなものがある

・パワーデバイス  シード&メタル層形成スパッタ
・MEMSセンサー  PZT成膜&加工エッチング
・光学デバイス   VCSEL加工エッチング
・高密度実装    Descumアッシング
・通信デバイス   絶縁膜成膜&加工PE-CVD

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取扱企業

株式会社アルバック

業種:繊維  所在地:神奈川県 茅ヶ崎市萩園 2500

イノベーションの創出で産業と科学の発展に貢献し、 豊かな未来を創造する

アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。
 変革の時代をチャンスととらえ、スピード感をもって様々な分野のニーズにグループ総合力とイノベーションでお応えし、産業と科学の発展に貢献することにより豊かな未来を創造していきたいと考えております。

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