ポリッシング装置の製品一覧

ウェーハを精密研磨し、高平坦化を実現する装置

KLP-40DXFP

ミクロ技研株式会社

精密ラッピングマシン

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MGP808X

ミクロ技研株式会社

全自動CMP装置。ラップマスターSFT製「LGP-808XJ」の後継機種

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PNX332B

株式会社岡本工作機械製作所

300mmウェーハ対応ファイナルポリッシャーのベストセラー

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FAM48BAW／SPAW

スピードファム株式会社

汎用片面研磨装置

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SM20B-5P-4D

スピードファム株式会社

300mm／200mm ウェーハ向け両面ポリッシュ装置

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SPM23

不二越機械工業株式会社

大口径、量産化対応200mmウェーハ対応片面ポリシングマシン

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USP-32BP

不二越機械工業株式会社

300mmウェーハ対応両面ポリッシング装置

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EMP-300

不二越機械工業株式会社

高品質、量産型枚葉式自動片面ポリシングマシン

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「ポリッシング装置」の関連企業一覧

ミクロ技研 株式会社


UTホールディングス（株）の子会社。半導体関連ではウェーハ製造用の研削・研磨装置、コータ、洗浄装置などを扱っている。研削・研磨装置に関し…

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株式会社 岡本工作機械製作所


当社は設立以来80年、古くは歯車研削を原点に、「総合砥粒加工機メーカー」として工作機械や半導体関連装置の分野で、高品質・高精度な製品づく…

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スピードファム 株式会社


グラインディング装置、ラッピング／ポリッシング装置というウェーハ研磨装置が事業の中心。子会社のスピードファム・クリーンシステム社で半導…

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不二越機械工業 株式会社


平坦化技術を生かして、ラッピング装置、ポリッシング装置というウェーハ研磨装置で実績を上げている。2021年2月期の売上高は173億円。ラッピン…

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