ポリッシング装置の製品一覧
KLP-40DXFP
ミクロ技研株式会社
精密ラッピングマシン
MGP808X
全自動CMP装置。ラップマスターSFT製「LGP-808XJ」の後継機種
PNX332B
株式会社岡本工作機械製作所
300mmウェーハ対応ファイナルポリッシャーのベストセラー
FAM48BAW/SPAW
スピードファム株式会社
汎用片面研磨装置
SM20B-5P-4D
300mm/200mm ウェーハ向け両面ポリッシュ装置
SPM23
不二越機械工業株式会社
大口径、量産化対応200mmウェーハ対応片面ポリシングマシン
USP-32BP
300mmウェーハ対応両面ポリッシング装置
EMP-300
高品質、量産型枚葉式自動片面ポリシングマシン
関連用語
関連特集
「ポリッシング装置」の関連企業一覧
ミクロ技研 株式会社
UTホールディングス(株)の子会社。半導体関連ではウェーハ製造用の研削・研磨装置、コータ、洗浄装置などを扱っている。研削・研磨装置に関し…
株式会社 岡本工作機械製作所
当社は設立以来80年、古くは歯車研削を原点に、「総合砥粒加工機メーカー」として工作機械や半導体関連装置の分野で、高品質・高精度な製品づく…
スピードファム 株式会社
グラインディング装置、ラッピング/ポリッシング装置というウェーハ研磨装置が事業の中心。子会社のスピードファム・クリーンシステム社で半導…
不二越機械工業 株式会社
平坦化技術を生かして、ラッピング装置、ポリッシング装置というウェーハ研磨装置で実績を上げている。2021年2月期の売上高は173億円。ラッピン…
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