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FAM48BAW/SPAW

スピードファム株式会社
最終更新日: 2022年03月18日

汎用片面研磨装置

量産機として幅広い加工物に適用できる。ラップ、ハードポリッシュ、ポリッシュに対応する。耐蝕仕様、スラリー供給機器など豊富なオプションを揃えている。

基本情報

定盤径 48 インチ

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取扱企業

スピードファム株式会社

業種:産業用機械  所在地:神奈川県 綾瀬市大上 4-2-37

研磨装置のほか、洗浄装置、レーザ加工装置を提供

グラインディング装置、ラッピング/ポリッシング装置というウェーハ研磨装置が事業の中心。子会社のスピードファム・クリーンシステム社で半導体製造向け洗浄装置、レーザー装置の事業を行っている。OBARAグループに属し、同グループの平面研磨事業を担当している。同事業の売上高は2021年9月期で188億円。

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