アッシング装置の製品一覧

プラズマにより、パターン形成後に残ったレジストを除去する装置

ソリッドステートマイクロ波電源『300W』

東京計器株式会社

研究室での実験等に気軽に使用できるよう、冷却は空冷方式になり、ポータブルタイプで一人でも持ち運びができるようになっている。

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