半導体用語集
バレル型アッシング装置
英語表記：barrel acher
バッチ処理型アッシング装置。円筒型の石英チャンバ内に反応ガスを導入し、かつ高周波電力を印加することによりアッシングを行う装置。電翼形状には、対向型と同軸型がある。
関連製品
「バレル型アッシング装置」に関連する製品が存在しません。キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
「バレル型アッシング装置」に関連する用語が存在しません。
「バレル型アッシング装置」に関連する特集が存在しません。
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
