海外半導体製造装置企業の2023年第1四半期業績

1.明暗が別れた2023年第1四半期業績

　本特集では、海外の主要半導体製造装置企業の2023年第1四半期（2023年1月～3月）の業績動向をまとめた。同期業績は企業によってはっきりと明暗が現れた。
　EUVリソグラフィ装置を独占している蘭ASM Holdings社は受注に対して供給能力が追いつかない状況であるため、同期は受注が低下しているものの、売上高は前年同期比90％増を上回る高成長を記録している。2023年通期売上高も前年比25%増という大幅増を計画している。
　ASM International(ASMI）は2022年第4四半期に買収した企業が売上に加わったこともあり、前年比増となった。米Axcelis Technology社はマイコン、アナログ、パワーデバイスなど成熟製品向け装置が中心であるため、今回の半導体市況悪化の影響をあまり受けることがなかった。
　一方、米Lam Research社は半導体市況の影響を受けて、メモリ向けが大幅に低下、米国の中国向け輸出規制も影響して前年割れとなった。シンガポールASMPT社、米Kulicke＆soffa社などの後工程メーカも前年割れとなった。
　米Applied Materials（AMAT）社、米KLA社も同四半期は前年度比6％台と堅調に推移したが、前四半期は低下しており、第2四半期もダウンが続くという厳しい見方となっている。韓国の装置メーカもSEMES以外は2023年第1四半期は前年比マイナスとなった。

表1　海外主要半導製造装置企業の2023年第1四半期（2023年1月～3月）売上高　

2.主要企業の動向

1）蘭ASML

表2 ASMLの2023年12月期第1四半期業績（100万ユーロ）

2）米AMAT

表3　AMATの2023年10月期第2四半期業績（100万米ドル）

3）米Lam Research

表4 Lam Researchの2023年6月期第3四半期業績（100万米ドル)

4）米KLA
表5 KLAの2023年6月期第3四半期業績（100万米ドル)

5）蘭ASM International(ASMI)

表6 ASM Internationalの2023年12月期1四半期業績（100万ユーロ）

6）シンガポールASM Pacific Technology(ASMPT)

表7 ASMPTの2022年12月期第4四半期業績（100万米ドル）

7）米Teradyne
表8　TERADYNEの2023年12月期第1四半期の業績（100万米ドル)

8）米Axcelis Technology
表9 Axcelis Technologyの2023年12月期第1四半期業績（100万米ドル

9)米Kulicke＆Soffa
表10 Kulike&Soffaの2023年9月期第2四半期業績（100万米ドル）

10）韓国企業

　韓国企業では、ウェーハプロセス用装置の大手企業、SEMES、Wonik IPS、 PSK、 Eugine Technologyの状況を示す。各社の主力装置は以下の通り。
　SEMES：洗浄装置、ウェット処理装置、コータ／デベロッパなど、
　Wonik IPS：プラズマCVD装置、ALD装置などの成膜装置
　PSK：フォトレジストのアッシング装置、ドライクリーニング装置、ハードマスク除去装置など
　Eugene Technology：減圧CVD装置（LPCVD）、プラズマCVD装置（PECVD）、ALD装置、エピタキシャル成長装置などの成膜装置

表11 韓国の半導体製造装置企業の2023年12月期第1四半期業績（100万ウォン）