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エッチング装置の製品一覧

酸化膜、Polly-Si/Si、メタルなどの対象物をガス、プラズマ、イオンなどを利用して削っていく装置

ケミカルドライエッチング装置「CDE-80R」
芝浦メカトロニクス 株式会社

注目

プラズマダメージの無いエッチングが可能な、等方性のエッチング装置です。SiコーナーラウンディングやSiスムージングを得意とし、3インチから8…

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イオンミリング装置 ArBlade 5000(SEMICON Japan 2020 Virtual 出展)
株式会社 日立ハイテク

日立イオンミリング装置の最上位機種。 ついにクラス最速の断面ミリングレート を達成しました。

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ICPエッチング装置 RIE-800iP(SEMICON Japan 2020 Virtual出展製品)
株式会社 サムコ

全てを進化させた次世代プロセス用装置

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ICPエッチング装置 RIE-400iPC(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社 サムコ

小径ウエハ専用カセット装置

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PlasmaPro100ALE(Oxford Instruments社製)(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社 アルバック

原子スケールの高精度エッチングが可能な装置

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Si Deep RIE System(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)

SPPテクノロジーズ 株式会社

シリコン深掘り装置 

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