エッチング装置の製品一覧

酸化膜、Polly-Si/Si、メタルなどの対象物をガス、プラズマ、イオンなどを利用して削っていく装置

ケミカルドライエッチング装置「CDE-80R」
芝浦メカトロニクス株式会社

注目

プラズマダメージの無いエッチングが可能な、等方性のエッチング装置です。SiコーナーラウンディングやSiスムージングを得意とし、3インチから8…

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PDCテクノロジ搭載300mm対応プラズマエッチング装置

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3次元構造に対応して高信頼性と高生産性を提供する300mmウェーハプロセス対応プラズマエッチング装置

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ICPエッチング装置 RIE-800iP(SEMICON Japan 2020 Virtual出展製品)
株式会社サムコ

全てを進化させた次世代プロセス用装置

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ICPエッチング装置 RIE-400iPC(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社サムコ

小径ウエハ専用カセット装置

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Centras Leaga

東京エレクトロン株式会社

ハイスループット型ガスケミカルエッチング装置。高いエッチング選択性、均一性、残渣除去およびラフネス低減を実現し、先端デバイスに貢献する…

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PlasmaPro 100 ALE

Oxford Instruments

Atomic Layer Etching(ALE)装置

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Centura Sculpta

Applied Materials,Inc

EUVダブルパターニングに代わる、よりシンプルで高速、かつコスト効率の高いパターニング装置

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SENSE.I

Lam Research

高感度の新素材と複雑なアーキテクチャーの課題に対応する新装置

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PlasmaPro100ALE(Oxford Instruments社製)

株式会社アルバック

原子スケールの高精度エッチングが可能な装置

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