エッチング装置の製品一覧

酸化膜、Polly-Si/Si、メタルなどの対象物をガス、プラズマ、イオンなどを利用して削っていく装置

PlasmaPro100ALE(Oxford Instruments社製)

株式会社アルバック

原子スケールの高精度エッチングが可能な装置

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RISE-300

株式会社アルバック

バッチ式自然酸化膜除去装置RISETM-300は、LSIのDeep-contact底部など困難な自然酸化膜除去に対応するバッチ式プリクリーン装置です。対象ウェー…

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ULHITETM NE-7800H

株式会社アルバック

FeRAM、MRAM、ReRAM、PCRAMなどに用いられる難エッチング材料(強誘電体、貴金属、磁性膜等)のエッチングに対応したマルチチャンバー型の低圧・…

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NLD-5700

株式会社アルバック

オプトデバイス、MEMS向けNLDエッチング装置

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NLD-570

株式会社アルバック

研究開発向けNLDドライエッチング装置

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NE-550EX

株式会社アルバック

研究開発向け高密度プラズマエッチング装置

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CE-L

株式会社アルバック

小型エッチング装置CE-Lは、「大気カセット」、「1枚仕込み大気搬送」、「真空搬送」等の自由な組み合わせが可能です。

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Luminous NAシリーズ

株式会社アルバック

Luminous NAシリーズはクリティカルな次世代ウェーハプロセスからウェーハレベル実装工程まで幅広いプロセスに対応可能なウェーハサイズフリーの…

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ハイポットテスター市場規模、シェア、動向、需要、機会分析、競争展望2032年

SurveyReports.jp

ヒポットテスター市場規模は2032年末までに1億1,000万米ドルに達し、予測期間2024-2032年に年平均成長率5%で成長すると予測される。

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ソリッドステートマイクロ波電源『300W』

東京計器株式会社

研究室での実験等に気軽に使用できるよう、冷却は空冷方式になり、ポータブルタイプで一人でも持ち運びができるようになっている。

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