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エッチング装置の製品一覧

酸化膜、Polly-Si/Si、メタルなどの対象物をガス、プラズマ、イオンなどを利用して削っていく装置

ケミカルドライエッチング装置「CDE-80R」
芝浦メカトロニクス株式会社

注目

プラズマダメージの無いエッチングが可能な、等方性のエッチング装置です。SiコーナーラウンディングやSiスムージングを得意とし、3インチから8…

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イオンミリング装置 ArBlade 5000(SEMICON Japan 2020 Virtual 出展)
株式会社日立ハイテク

日立イオンミリング装置の最上位機種。 ついにクラス最速の断面ミリングレート を達成しました。

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ICPエッチング装置 RIE-800iP(SEMICON Japan 2020 Virtual出展製品)
株式会社サムコ

全てを進化させた次世代プロセス用装置

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ICPエッチング装置 RIE-400iPC(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社サムコ

小径ウエハ専用カセット装置

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Versys Metalシリーズ

Lam Research

困難なエッチング作業に対応できるよう、ラムリサーチの Versys Metal シリーズは柔軟性が高いプラットフォームの上に構築され、高い生産性を実…

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Kiyoシリーズ

Lam Research

ラムリサーチのKiyoシリーズは、導電体を精密かつ高い再現性で形成できる高機能でかつ高生産性を発揮します。用途によっては当社のReliantRシリ…

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FLEXシリーズ

Lam Research

重要絶縁膜エッチ工程のために差別化された技術とアプリケーションを提供する装置

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Primo Nanova

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

1Xnm以下のロジックおよびメモリデバイスのエッチング応用に革新的なソリューションを提供する最先端エッチング装置

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Primo TSV

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

高性能、高生産性のディープシリコンエッチング製品

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Primo HD-RIE

Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc. China(AMEC)

NANDおよびDRAMチップ製造のための革新的なエッチングソリューションを提供する。

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