エッチング装置の製品一覧
ケミカルドライエッチング装置「CDE-80R」
芝浦メカトロニクス株式会社
プラズマダメージの無いエッチングが可能な、等方性のエッチング装置です。SiコーナーラウンディングやSiスムージングを得意とし、3インチから8…
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