半導体用語集
ドライエッチング装置
英語表記：dry etching system
気相中でウエーハなどをエッチングする装置の総称。減圧下の活性ガスプラズマを利用してエッチングする場合が多い。ウエットエッチング装置を用いる場合に比べより微細なエッチングに対応出来る。
関連製品
ケミカルドライエッチング装置「CDE-80R」
芝浦メカトロニクス株式会社
プラズマダメージの無いエッチングが可能な、等方性のエッチング装置です。SiコーナーラウンディングやSiスムージングを得意とし、3インチから8インチまでの幅広いウェ－ハへの対応を可能です。
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › エッチング装置 › その他
NE-5700/NE-7800
株式会社アルバック
量産用ドライエッチング装置
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 検査装置 › 光学式微小寸法測定装置
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 検査装置 › SEM式微小寸法測定装置
半導体製造装置・試験／検査装置・関連部品 › 検査装置 › マスク／レチクル欠陥検査装置
キーワード検索
フリーワードやカテゴリーを指定して検索できます
関連用語
関連特集
会員登録すると会員限定の特集コンテンツにもアクセスできます。
