半導体用語集
ドライエッチング装置
英語表記：dry etching system
気相中でウエーハなどをエッチングする装置の総称。減圧下の活性ガスプラズマを利用してエッチングする場合が多い。ウエットエッチング装置を用いる場合に比べより微細なエッチングに対応出来る。
関連製品
ケミカルドライエッチング装置「CDE-80R」
芝浦メカトロニクス株式会社
プラズマダメージの無いエッチングが可能な、等方性のエッチング装置です。SiコーナーラウンディングやSiスムージングを得意とし、3インチから8インチまでの幅広いウェ－ハへの対応を可能です。
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