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NE-5700/NE-7800

株式会社アルバック
最終更新日: 2020年05月21日

量産用ドライエッチング装置

・1チャンバー以外にさらに有磁場ICP(ISM)やNLDプラズマ源、アッシングチャンバーやCCPチャンバーが搭載可能で多用なエッチングプロセスに対応。
・プロセス再現性や安定性のためのスター電極や各種温調機能を搭載。
・容易なメンテナンス構造で最小のダウンタイム、再生洗浄やパーツ提供、メンテナンスやトレイニングサービス等の総合バックアップ体制。
・半導体技術研究所による万全のプロセスサポート体制。

基本情報

・化合物(LEDやLD、高周波デバイス)やパワーデバイス(IGBT配線加工、SiC加工)。
・メタル配線や層間絶縁膜(樹脂系)、ゲート電極加工プロセスに。
・強誘電体材料や貴金属エッチングに。
・磁性体材料加工に。

価格帯 1億円以上
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取扱企業

株式会社アルバック

業種:繊維  所在地:神奈川県 茅ヶ崎市萩園 2500

イノベーションの創出で産業と科学の発展に貢献し、 豊かな未来を創造する

アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。
 変革の時代をチャンスととらえ、スピード感をもって様々な分野のニーズにグループ総合力とイノベーションでお応えし、産業と科学の発展に貢献することにより豊かな未来を創造していきたいと考えております。

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