スパッタ(配線層、ITO膜、Cr膜）の製品一覧

配線層、ITO膜、Cr膜などの成膜を行う。

SME-200

株式会社アルバック

プロセス室を複数搭載可能（最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200）なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。

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