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SME-200

株式会社アルバック
最終更新日: 2020年05月21日
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プロセス室を複数搭載可能（最大3室の200E、最大5室の200J、および最大7室の200）なマルチチャンバ型のスパッタリング装置です。

・φ200mm基板を搬送可能
・プロセス室として、多様なモジュールをラインナップ
　誘電体用モジュール、高温成膜モジュール、精密分布モジュール、エッチングモジュール

基本情報

用途：電子部品、MEMS、パワーデバイス、LED

価格帯 5000万円以上 1億円未満
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取扱企業

株式会社アルバック

業種：繊維  所在地：神奈川県 茅ヶ崎市萩園 2500

イノベーションの創出で産業と科学の発展に貢献し、 豊かな未来を創造する

アルバックグループは、真空装置、コンポーネント、材料、分析機器、カスタマーソリューションなど多様な真空技術を総合的に幅広い業界向けに提供するユニークな企業グループです。
　変革の時代をチャンスととらえ、スピード感をもって様々な分野のニーズにグループ総合力とイノベーションでお応えし、産業と科学の発展に貢献することにより豊かな未来を創造していきたいと考えております。

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