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KrF装置の製品一覧

波長248nmのKrFエキシマレーザを光源としてパターンを転写する露光装置置

G60K

ギガフォトン株式会社

従来の150%の高出力を実現し、将来のさらなる出力要求に対応するKrF露光用光源

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