KrF装置の製品一覧

波長248nmのKrFエキシマレーザを光源としてパターンを転写する露光装置置

G60K

ギガフォトン株式会社

従来の150%の高出力を実現し、将来のさらなる出力要求に対応するKrF露光用光源

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ギガフォトン 株式会社


小松製作所の子会社。2004年、インジェクションロック技術を採用した、ツインチャンバの量産型ArFエキシマレーザを世界に先がけて製品化し て以…

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