ギガフォトン株式会社
業種:光学機器 所在地:栃木県 小山市大字横倉新田 400
光源で次世代リソグラフィ技術に貢献
小松製作所の子会社。2004年、インジェクションロック技術を採用した、ツインチャンバの量産型ArFエキシマレーザを世界に先がけて製品化し て以来、液浸露光・ダブルパターニング露光等の最新リソグラフィー技術に対応した最新型ArFエキシマレーザを次々と市場に供給している。
企業名 | ギガフォトン株式会社 |
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事業所 | 本社 |
郵便番号 | 3238558 |
住所 | 栃木県 小山市大字横倉新田400 |
地図 | |
電話番号 | 0285288410 |
FAX番号 | |
業種 | 光学機器 |
事業内容 | 半導体リソグラフィ用、その他用エキシマレーザ及び極端紫外線光源(EUV)の、開発・製造・販売 |
事業拠点 | |
設立年 | 2000 年 |
資本金 | 500,000万円 |
従業員数 | 500~999人 |
売上高 | |
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