ギガフォトン株式会社

業種:光学機器  所在地:栃木県 小山市大字横倉新田 400

光源で次世代リソグラフィ技術に貢献

小松製作所の子会社。2004年、インジェクションロック技術を採用した、ツインチャンバの量産型ArFエキシマレーザを世界に先がけて製品化し て以来、液浸露光・ダブルパターニング露光等の最新リソグラフィー技術に対応した最新型ArFエキシマレーザを次々と市場に供給している。

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企業名 ギガフォトン株式会社
事業所 本社
郵便番号 3238558
住所 栃木県 小山市大字横倉新田400
地図

電話番号 0285288410
FAX番号
業種 光学機器
事業内容 半導体リソグラフィ用、その他用エキシマレーザ及び極端紫外線光源(EUV)の、開発・製造・販売
事業拠点
設立年 2000 年
資本金 500,000万円
従業員数 500~999人
売上高
画像

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