ギガフォトン株式会社の製品一覧
GT66A
ギガフォトン株式会社
さらなるテクノロジーの要求に応えるArF液浸露光光源
G60K
従来の150%の高出力を実現し、将来のさらなる出力要求に対応するKrF露光用光源
「ギガフォトン株式会社」の関連企業一覧
ギガフォトン 株式会社
小松製作所の子会社。2004年、インジェクションロック技術を採用した、ツインチャンバの量産型ArFエキシマレーザを世界に先がけて製品化し て以…
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