リソグラフィ装置の製品一覧

ウェーハ上にパターンを転写、描画するための装置

毎時450枚以上のハイスループットを実現するデュアルトラックシステム

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IJ塗布から乾燥まで1台で完結できるオールインワンモデルの量産機

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高信頼性、高速300mmウェーハ対応コータ・デベロッパ

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多様な基板へフレキシブルに対応するコータ・デベロッパ

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凹凸のある立体構造に対して最適かつフレキシブルに塗布するコータ・デベロッパ

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3次元実装、バンプ、ピラー形成に最適な後工程用直接描画装置

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CLEAN TRACK LITHIUS Pro Z
東京エレクトロン株式会社

EUVなど最新リソグラフィ技術対応300mmウェーハプロセス用レジスト塗布現像装置

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業界最高水準の5nmプロセス量産用ArF液浸スキャナー

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「スカイフック構造」とウェーハステージ高速化により、さらなる高スループット化を実現したi線スキャンフィールドステッパー

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重ね合わせ精度と生産性をさらに向上させたArFスキャナー

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