リソグラフィ装置の製品一覧
DT-3000
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
毎時450枚以上のハイスループットを実現するデュアルトラックシステム
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RF310A
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
高信頼性、高速300mmウェーハ対応コータ・デベロッパ
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SK-60EX/80EX
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
多様な基板へフレキシブルに対応するコータ・デベロッパ
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SC-80EX
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
凹凸のある立体構造に対して最適かつフレキシブルに塗布するコータ・デベロッパ
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DW-3000
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ
3次元実装、バンプ、ピラー形成に最適な後工程用直接描画装置
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関連用語
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「リソグラフィ装置」の関連企業一覧
SCREENセミコンダクターソリューションズは、 エッチング、フォトリソグラフィ、画像処理を技術のコアとし、半導体洗浄プロセスにおいて世界の…
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Shanghai Micro Electronics Equipment(SMEE)
ASMLの露光装置を代替できる装置の開発を目標に国の支援を受けて開発を進めている。2016年にはi線ステッパを製品化、2018年m90nmレベルのスキャ…
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