製品で絞り込む

リソグラフィ装置の製品一覧

ウェーハ上にパターンを転写、描画するための装置

IJ塗布から乾燥まで1台で完結できるオールインワンモデルの量産機

詳細を確認する

毎時450枚以上のハイスループットを実現するデュアルトラックシステム

詳細を確認する

高信頼性、高速300mmウェーハ対応コータ・デベロッパ

詳細を確認する

多様な基板へフレキシブルに対応するコータ・デベロッパ

詳細を確認する

凹凸のある立体構造に対して最適かつフレキシブルに塗布するコータ・デベロッパ

詳細を確認する

3次元実装、バンプ、ピラー形成に最適な後工程用直接描画装置

詳細を確認する

「スカイフック構造」とウェーハステージ高速化により、さらなる高スループット化を実現したi線スキャンフィールドステッパー

詳細を確認する

重ね合わせ精度と生産性をさらに向上させたArFスキャナー

詳細を確認する

MEMSステッパーシリーズ(SEMCON Japan 2020 Virtual 出展)
ニコン 株式会社

MEMSデバイスの多様化に対応

詳細を確認する

Litho Booster(SEMICON Japan 2020 Virtual 出展)
ニコン 株式会社

露光前の全ウェーハでグリッド歪みを高速計測。フィードフォワードで高精度な重ね補正を実現する高機能アライメントステーション

詳細を確認する
全 14 件中 1 ~10 件を表示中
表示件数: