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株式会社アドテックエンジニアリング
最終更新日: 2022年12月09日

世界の先進ユーザーが選び続けるダイレクト露光装置

・独自レーザーユニットに、先進レンズ設計技術を融合した新描画エンジンを搭載。高品位・高出力のレーザーヘッドを基板幅でライン配置することにより、ワンタイムスキャンも実現。ヘッド間でのつなぎやズレのない高品質露光を実現。
・基板の反りやうねりによる高さ変化や、ビルドアップ層の微妙な凹凸に対応する同社独自開発のワイドレンジ・オートフォーカス機能を露光ヘッド毎に搭載。露光面の高低に追従し、ピントずれを防止。
・アライメント・リトライ機能:マーク位置ずれや、外形寸法のばらつきによるアライメントエラー発生時も、ライン停止なしで、基板位置を自動調整し、アライメントを再実行。
リジェクトされる基板が減り生産性を向上。

基本情報

・1シート当たり12秒
・補正範囲:±400μm
・アライメント精度:プラスマイナス5μm

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取扱企業

株式会社アドテックエンジニアリング

業種:産業用機械  所在地:東京都 港区虎ノ門 2丁目3番17号 虎ノ門2丁目タワー8階

プリント基板、半導体パッケージ向けの「露光装置」に注力

1983年の創業以来,プリント基板を作る露光装置に力を入れており、同装置事業が売上の約70%を占めている。プリント基板向け技術を応用して、半導体パッケージ基板のDirect Imaging(DI)装置を製品化している。ウェーハサイズだけでなく、大型基板にも対応している。

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