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ウェーハ形状計測装置の製品一覧

平坦度、歪みといったウェーハの形状を検査、測定する装置

TSURUGI-C2 剱(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
Kokusai Electric 株式会社

次世代デバイス、特に3次元(立体構造)デバイスに向けた成膜品質向上の市場ニーズにこたえる高品質成膜・高性能半導体製造装置

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VERTEXR Revolution(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
Kokusai Electric 株式会社

200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置

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ENTRON N300(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社 アルバック

マルチチャンバ型スパッタリング装置

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高生産性縦型装置

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ロードロック式プラズマCVD装置CC-200/400は、小型で使いやすく、研究開発から生産までに対応した装置です。

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枚葉式PE-CVD装置 CME-200E/400は、シリコン系の絶縁膜・バリア膜等の成膜に最適な、量産用PE-CVD装置です。

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CMDシリーズはSiH4やTEOSを用いたa-Si膜、シリコン酸化膜、窒化膜成膜用枚葉式CVD装置です。

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マルチチャンバ型スパッタリング装置ENTRONTM-EX2 W300は、多様なプロセスを結び付ける最新のプラットフォームです。

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