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ウエハー３D検査シリーズ

株式会社清和光学製作所
最終更新日: 2022年08月16日
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多種３D検査装置を提案します。

CSI(Coherence Scanning Interferometry)光学エンジンを搭載し、
Wafer上のパターンや欠陥等の高さを測定する装置です。
また、SRV光学エンジンも搭載しており、線幅(2D)×高さ(3D)の
ハイブリッド測定が可能です。

基本情報

・集積回路形成後やダイシング後ウェハ、ベアウェハの
　指定された位置、パターンの寸法計測を行います。

・高さ測定時に取得した情報から3Dモデルを作成。
　簡易版SEM機能としてご使用頂けます。

・線幅(2D)×高さ(3D)のハイブリッド測定も可能

～特注対応も行っております。お気軽にご相談下さい。～

価格帯 1億円以上
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Auto Review 検査装置+白色干渉 Z proシリーズ
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取扱企業

株式会社清和光学製作所

業種：産業用機械  所在地：東京都 中野区弥生町 4-12-17

各産業界の最先端分野をパートナーとするコレクトソリューションの世界

　清和光学製作所は1947年（昭和22年）、創業者の鈴木清太郎による顕微鏡の製造販売から歩み始めました。
その後は光学技術をベースに、画像光学事業・産業装置事業・環境事業を行っています。
「フレッシュな提案と創意工夫」という創業者の想いは受け継がれていき、今も幅広い分野で、お客様の課題を解決する力になっています。
　製品の企画・開発から製造販売まで一貫しているため、製品のカスタマイズなどに柔軟に対応可能です。技術を持ったスタッフが「精密さと綿密さ」を追求した製品を提供いたします。

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