サセプタ（半導体にも追加）の製品一覧
半導体製造装置の内部で半導体材料のシリコンウェーハを支持するセラミック製の機能部品。高温の腐食性ガスやプラズマなどにさらされる半導体製造プロセスでも安定している。
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