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ディスプレイ製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

フラットパネルディスプレイ(FPD)の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

優れた生産性と高解像度露光を両立した大型パネル用直接描画露光装置

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WET洗浄装置
株式会社 FEBACS

注目

100mm角の実験機から2,000mm以上の量産機まで対応!カスタマイズ装置の実績多数あり。弊社工場でのサンプルテストも受付中。

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チラー(Chiller)
株式会社 日立ハイテク

チラーは、冷媒サイクルにより温度調整した液体(熱媒体)を対象装置に循環・熱交換させることで、対象装置温度を一定に保つ装置です。半導体製造…

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磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

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UTM-FH/FWシリーズ
株式会社 アルバック

デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・…

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セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプ

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セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。優れた高背圧特性により補…

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LR/HR/UR シリーズ
株式会社 アルバック

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現し…

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ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格(CE,cTUVus)を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用しておらず、…

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FCS-T1200MF-HTシリーズ
株式会社 フジキン

高温対応モデル

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