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ディスプレイ製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

フラットパネルディスプレイ(FPD)の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

優れた生産性と高解像度露光を両立した大型パネル用直接描画露光装置

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WET洗浄装置
株式会社FEBACS

注目

100mm角の実験機から2,000mm以上の量産機まで対応!カスタマイズ装置の実績多数あり。弊社工場でのサンプルテストも受付中。

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チラー(Chiller)
株式会社日立ハイテク

チラーは、冷媒サイクルにより温度調整した液体(熱媒体)を対象装置に循環・熱交換させることで、対象装置温度を一定に保つ装置です。半導体製造…

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FCS-T1200MF-HTシリーズ
株式会社フジキン

高温対応モデル

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FCS-T1500Fシリーズ
株式会社フジキン

大流量モデル

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FCS-T1200Fシリーズ
株式会社フジキン

大流量モデル

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FCS-TM39シリーズ
株式会社フジキン

表示器一体型モデル

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PCS-T1000Fシリーズ
株式会社フジキン

外部圧力センサ対応モデル

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FCS-T1000Lシリーズ
株式会社フジキン

高精度モデル

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FCS-T1000M(Z)F-HTシリーズ
株式会社フジキン

高温対応モデル

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