ディスプレイ製造装置・試験/検査装置・関連部品の製品一覧

フラットパネルディスプレイ(FPD)の製造・試験・検査のプロセスを処理する装置、および装置で使用される部品、ユニット、モジュール

WET洗浄装置

株式会社FEBACS

100mm角の実験機から2,000mm以上の量産機まで対応!カスタマイズ装置の実績多数あり。弊社工場でのサンプルテストも受付中。

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UTM-MIシリーズ

株式会社アルバック

磁気軸受を採用したコントローラ一体型ターボ分子ポンプです。 ポンプ本体とコントローラの一体化により省配線、省スペースを実現しました。

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UTM-FH/FWシリーズ

株式会社アルバック

デジタル5軸制御磁気軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。UTM-FH、UTM-FWはデジタル5軸制御磁気軸受の採用により高機能・高信頼性・…

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UTM70B

株式会社アルバック

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプ

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UTM300

株式会社アルバック

セラミック玉軸受を採用した複合翼型のターボ分子ポンプです。コントローラとポンプの一体化により省スペースを実現。優れた高背圧特性により補…

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LR/HR/UR シリーズ

株式会社アルバック

ドライ真空ポンプLR/HR/UR シリーズは、独自の高温均熱化技術により圧縮熱の有効利用でCVD、エッチング等のハードプロセスでの高耐久性を実現し…

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CRシリーズVerB

株式会社アルバック

ドライ真空ポンプCRシリーズVerBは、国際規格(CE,cTUVus)を取得した空冷式ルーツ型のドライ真空ポンプです。排気室内には油を使用しておらず、…

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Cシリーズ

MKS Instruments

小型超高速マスフローコントローラ

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P250A

MKS Instruments

高性能大流量マルチガス/マルチレンジ250slm マスフローコントローラ

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P9B

MKS Instruments

高性能圧力対応マルチガス/マルチレンジ 5sccm~50slmマスフローコントローラ

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