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GM50A/GM51A

MKS Instruments
最終更新日: 2024年05月30日
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マルチガス、マルチレンジ・メタルシール・マスフローコントローラ

・対応流量：5～50,000sccmFlow rates from 5 to 50,000 sccm
・テフロン・バルブ・プラグ付きメタルシール
・対応通信規格　デジタル：EtherCAT, DeviceNet, Profibus, PROFINET、RS485／アナログ：(0-5 VDC or 4-20 mA) I/O
・コンダクタンス・リーク率が1％未満
・設定時間：750ms以下

基本情報

・Control Range 2% to 100% of Full Scale
・Full Scale Flow Range 5 - 50000 sccm (N2 equivalent)
・Maximum Inlet Pressure 150 psig
・Normal Operating Pressure Differential
10 to 5000 sccm; 10 to 40 psid,
10000 to 20000 sccm; 15 to 40 psid,
30000 to 50000 sccm; 25 to 40 psid
・Proof Pressure 1000 psig
・Burst Pressure 1500 psig
・Typical Accuracy ±1% of set point for 20 to 100% Full Scale,
± 0.2% of Full Scale for 2 to 20% Full Scale
・Repeatability ± 0.3% of Reading
・Resolution 0.1% of Full Scale
・Zero Temperature Coefficient <0.05% of Full Scale/°C
・Span Temperature Coefficient <0.08% of Reading/°C
・Inlet Pressure Coefficient <0.02% of Reading/psi
・Typical Settling Time <750 msec, typical above 5% Full Scale
・Warm-up Time 30 minutes
・Operating Temperature 10°C to 50°C
・Storage Humidity 0 to 95% Relative Humidity, non-condensing
・Storage Temperature -20° to 80°C
・External Leak Integrity <1 x 10-09 (scc/sec He)
・Leak Integrity Through Closed Valve
　Up to 10K valve <0.1% of FS at 40 psig to atmosphere, 20K - 50K valve <1.0% of FS at 40 psig to atmosphere
・Wetted Materials 316L S.S. VAR, 316 S.S., ElgiloyR, Nickel, KM45
・Weight 3 lbs (1.4 kg)
・Compliance CE

お問い合わせ

取扱企業

MKS Instruments

業種：産業用電気機器 2 Tech Drive、Suite 201 アンドーバー、MA 01810、アメリカ合衆国 

プロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダ

MKS Instruments、Inc.は、高度な製造プロセスの重要なパラメータを測定、監視、配信、分析、実行、制御して、お客様のプロセスパフォーマンスと生産性を向上させる機器、システム、サブシステム、およびプロセス制御ソリューションのグローバルプロバイダです。当社の製品は、圧力の測定と制御、流量の測定と制御、ガスと蒸気の供給、ガス組成分析、電子制御技術、反応性ガスの生成と供給、発電と供給、真空技術、レーザー、フォトニクスのコアコンピテンシーに基づいています。

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