SEM式ウェーハ外観検査装置の製品一覧
走査型電子顕微鏡（SEM）を利用して、パターン付ウェーハの異物、クラック、パターン欠陥などを検査、検出する装置。
新型高速レビューSEM「CR7300」（MEMS展、SEMICON Japan 2020 Virtual出展）
新設計の電子光学系を搭載したことで従来よりも高解像な撮像が可能となり、またステージ制御の改良によってSEM画像撮像までの時間を短縮すること…
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欠陥形状評価SEM 「CT1000」（MEMS展,SEMICON Japan 2020 Virtual 出展）
、8インチ（直径200mm）以下のウェーハ上のパターン形状や製造工程中に発生する欠陥の三次元観察を可能とし、観察対象の構成元素推定機能を搭載…
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