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- 真空バルブ(ゲートバルブ、ベンドロールバルブ)
- オーリング
- シール/フランジ
- 真空開閉シャッタ
- ステージ(リニアモータ)
- リニアモータ駆動システム
- 静電チャック
- 熱電対/パイロメータ
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- センサ(温度、湿度、圧力、流量など)
- 各種保護材(消耗品)
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- 薬液用ポンプ
- テフロン(半導体グレード)
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- 制御用PLC(国内供給)
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- モータ/サーボモータ
- RF電源/その他電源
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- チラー
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- 真空バルブ
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- 熱電対/パイロメータ
- センサ(温度、湿度、圧力、流量など)
- 各種保護材(消耗品)
- ヒータ(蒸着装置向け)
- サセプタ(半導体にも追加)
- マスフローコントローラ
- ガスバルブ
- 薬液バルブ
- キャピラリ/ディスペンサ
- ノズル(スプレーノズル、スリットノズルなどを含む)
- インクジェットヘッド(ノズル)
- 薬液用ポンプ
- スペーサ供給ユニット
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- チラー
- レーザ光源
- 赤外線検出器
- シリコン
- 化合物半導体
- ターゲット材
- CVDおよびALD用の皮膜形成材料(High-k材料/ Low-k材料/その他)
- クリーニングガス
- イオンドーピングガス
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- g・i線レジスト/現像液
- KrFレジスト/現像液
- ArFレジスト/現像液
- ArF液浸レジスト/現像液
- EUVレジスト/現像液
- 厚膜・その他レジスト
- エッチング液
- エッチングガス
- スラリー
- パッド
- パッドコンディショナ
- 洗浄液
- 超純水・機能水
- サブストレート(パッケージ基板)/インターポーザ
- TAB・COFテープ 接着剤 接着テープ
- リードフレーム
- はんだボール
- シーリング樹脂
- セラミックパッケージ
- フリップチップ用エポキシ樹脂封止材
- バックグラインディングプロセス用テープ/ウエハレベルCSP用裏面保護フィルム
- ダイシング/ダイボンディング用フィルム
- その他フィルム
- マスク基板
- マスクブランクス
- フォトマスク
- ガラス基板(液晶)
- ガラス基板(OLED用)
- Crガス、薬液、Si
- Cr ITO
- カラーフィルタ用色材(カラーレジスト/顔料)、インクジェット用インク
- フォトレジスト、現像液
- 配向膜材料(SiO2):CVDガス材料、ポリイミド(樹脂)
- 液晶材料
- スペーサ材料(シリコン球)
- シール(封止)材(接着剤)/メインシール材/仮接着剤
- 液晶注入口シール材(紫外線硬化樹脂材)
- 偏光フィルム
- 基板(仮配置基板)
- ポリイミド樹脂
- 正孔注入層材(有機膜)
- 正孔輸送層材(有機膜)
- 電子注入層材料(有機膜、金属化合物薄膜
- 電子注入層材料(有機膜、金属化合物薄膜
- 高分子有機EL材料
- 有機EL素材(蒸し用)
- 蒸着材料
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SEM式ウェーハ外観検査装置の製品一覧
走査型電子顕微鏡(SEM)を利用して、パターン付ウェーハの異物、クラック、パターン欠陥などを検査、検出する装置。
新型高速レビューSEM「CR7300」(MEMS展、SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
新設計の電子光学系を搭載したことで従来よりも高解像な撮像が可能となり、またステージ制御の改良によってSEM画像撮像までの時間を短縮すること…
詳細を確認する欠陥形状評価SEM 「CT1000」(MEMS展,SEMICON Japan 2020 Virtual 出展)
、8インチ(直径200mm)以下のウェーハ上のパターン形状や製造工程中に発生する欠陥の三次元観察を可能とし、観察対象の構成元素推定機能を搭載…
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