検査装置の製品一覧

半導体の材料、製造プロセス品質、プロセス処理の成果を検査、測定、評価する装置

レーザー干渉計 Qualifire™

アメテック株式会社

最新型レーザー干渉計 QUALIFIREは複数の機能強化を実現しながら装置の軽量化も同時に実現した最新型のZYGOのレーザー干渉計です。

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DI4600

株式会社日立ハイテク

高性能暗視野式ウェーハ欠陥検査装置

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VeritySEM 10

Applied Materials,Inc

高NA EUVリソグラフィへの道を開く 新しい電子ビーム計測装置

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ウエハ全面高速膜厚測定システム

株式会社ヒューテック

ウエハ全面の膜厚を高速測定可能な膜厚測定システム。秒間40,000ポイントをIn-Situ測定することで成膜条件や装置の異常を素早くフィードバック。

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SCSI-SD 外付けドライブBOX

株式会社渡辺商行

SCSI仕様の古いワークステーション(mini-com)で使用しているDAT・FDD・MO・HDDに代わるバックアップディスク装置。 既に製造終了の旧式ハードウ…

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ナノ表面粗さ・形状計測器「ナノセブン」

ツクモ工学株式会社

サブナノメートルレベルの表面粗さをより簡単に、より早く測定します

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NOKOTA ECD

Applied Materials,Inc

高生産性ウェーハレベルパッケージ用めっき装置

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DI2800

株式会社日立ハイテク

2022年発売。検出時間40枚/時間と高速検査が可能

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DI4200

株式会社日立ハイテク

パターン付きウエハの異物欠陥を高感度・高速でモニタリングすることが可能な欠陥検査装置。

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