検査装置の製品一覧

半導体の材料、製造プロセス品質、プロセス処理の成果を検査、測定、評価する装置

国内No.1の販売実績を誇る多機能光干渉式膜厚測定装置

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注目

半導体製造の前工程から後工程まで『ハイスピード』『ハイスペック』でウェーハの全数自動検査の要求にお応えします。

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loT向け電子デバイスに対応したエリプソ式膜厚測定装置

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製造ラインへの導入も可能な卓上型光干渉式膜厚測定装置

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R&Dに最適な顕微鏡モデル光干渉式膜厚測定装置

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loT向け電子デバイスに対応したパターン付きウェーハ外観検査装置

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ハイスピード、ハイコストパフォーマンスを追求。パターン付きウェーハ外観検査装置

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本装置はウェーハ表面を化学的機械的に研磨するクリーンルーム設置型のCMP装置です。市場で証明された高い信頼性と優れたプロセス性能を有する本…

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本装置は、半導体ウェーハにバンプ、再配線、ビア等の微細パターンを形成させるクリーンルーム設置型の電解めっき装置です。

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VERTEXR Revolution/Ⅲ
Kokusai Electric株式会社

200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置

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