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検査装置の製品一覧

半導体の材料、製造プロセス品質、プロセス処理の成果を検査、測定、評価する装置

loT向け電子デバイスに対応したエリプソ式膜厚測定装置

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国内No.1の販売実績を誇る多機能光干渉式膜厚測定装置

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製造ラインへの導入も可能な卓上型光干渉式膜厚測定装置

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R&Dに最適な顕微鏡モデル光干渉式膜厚測定装置

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loT向け電子デバイスに対応したパターン付きウェーハ外観検査装置

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ハイスピード、ハイコストパフォーマンスを追求。パターン付きウェーハ外観検査装置

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ENDURAR CIRRUS HT CO PVD
Applied Materials,Inc

DRAM周辺のダイレクトコンタクトアプリケーション向けに、Siconiプリシリサイドクリーン技術とPVDコバルト、TiNキャップ成膜を統合しています。

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ENDURA ALPSR PVD (ALPS CO & NI)
Applied Materials,Inc

高アスペクト比のゲートやコンタクトアプリケーション向けに、シンプルかつ高性能なシリサイドソリューションを提供します。

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高生産性縦型装置

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次世代デバイス、特に3次元(立体構造)デバイスに向けた成膜品質向上の市場ニーズにこたえる高品質成膜・高性能半導体製造装置

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