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検査装置の製品一覧

半導体の材料、製造プロセス品質、プロセス処理の成果を検査、測定、評価する装置

loT向け電子デバイスに対応したエリプソ式膜厚測定装置

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国内No.1の販売実績を誇る多機能光干渉式膜厚測定装置

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製造ラインへの導入も可能な卓上型光干渉式膜厚測定装置

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R&Dに最適な顕微鏡モデル光干渉式膜厚測定装置

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loT向け電子デバイスに対応したパターン付きウェーハ外観検査装置

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ハイスピード、ハイコストパフォーマンスを追求。パターン付きウェーハ外観検査装置

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M-600/6000シリーズ(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
株式会社 日立ハイテク

コンダクターエッチング装置 M-600/6000シリーズは、デジタルモバイル機器、白物家電製品、自動車、鉄道などに用いられるパワー半導体のシリコ…

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TSURUGI-C2 剱(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
Kokusai Electric 株式会社

次世代デバイス、特に3次元(立体構造)デバイスに向けた成膜品質向上の市場ニーズにこたえる高品質成膜・高性能半導体製造装置

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VERTEXR Revolution(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
Kokusai Electric 株式会社

200mmウェーハ対応バッチサーマルプロセス装置

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MARORA(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
Kokusai Electric 株式会社

次世代DRAM、ロジックのゲート絶縁膜形成、フラッシュメモリの絶縁膜形成に最適な枚葉プラズマ窒化・酸化装置

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