検査装置の製品一覧
半導体の材料、製造プロセス品質、プロセス処理の成果を検査、測定、評価する装置
TANDUO(SEMICON Japan 2020 Virtual出展)
プロセスに応じたモジュール選択により、キュア、アニール、デガス等に合わせた最適なシステムを提供する事ができます。
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