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検査装置の製品一覧

半導体の材料、製造プロセス品質、プロセス処理の成果を検査、測定、評価する装置

loT向け電子デバイスに対応したエリプソ式膜厚測定装置

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国内No.1の販売実績を誇る多機能光干渉式膜厚測定装置

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製造ラインへの導入も可能な卓上型光干渉式膜厚測定装置

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R&Dに最適な顕微鏡モデル光干渉式膜厚測定装置

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loT向け電子デバイスに対応したパターン付きウェーハ外観検査装置

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ハイスピード、ハイコストパフォーマンスを追求。パターン付きウェーハ外観検査装置

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次世代デバイスプロセスに対応するため、コンダクターエッチング装置 9000シリーズでは、インターフェースを統一し、高精度にモジュール化した…

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コンダクターエッチング装置 M-8000シリーズは、32nm世代以降のハードマスク、シリコン加工に対応したエッチング装置です。

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E-600/8000シリーズ
株式会社日立ハイテク

不揮発性材料エッチング装置

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磁気ヘッド用材料エッチング装置

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